Προβολή Εργασίας
ΧΡΗΣΗ ΜΙΚΡΟΑΙΣΘΗΤΗΡΑ NiO ΓΙΑ ΤΗΝ ΑΝΙΧΝΕΥΣΗ ΥΔΡΟΓΟΝΟΥ
Ι. Φασάκη1, Μ. Αντωνιάδου1, Α. Γιαννουδάκος1, Μ. Σταματάκη2, Μ. Κομπίτσας2, Φ. Ρουμπάνη-Καλαντζοπούλου1, I. Hotovy3, V. Rehacek3
1 Σχολή Χημικών Μηχανικών, Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο
2 Ινστιτούτο Θεωρητικής και Φυσικής Χημείας, Εθνικό Ίδρυμα Ερευνών
3 Slovak University of Technology, Bratislava |
ΣΥΝΤΟΜΗ ΠΕΡΙΛΗΨΗ
Στην παρούσα εργασία χρησιμοποιήθηκε διάταξη μικροαισθητήρα για την ανίχνευση υδρογόνου. Η διάταξη αναπτύχθηκε με τη μέθοδο της ιοντοβολής (sputtering) και της φωτολιθογραφίας και αποτελείται από υπόστρωμα Si-GaAs, το θερμαντικό μέσο (Pt) και τον κυρίως αισθητήρα NiO (ημιαγωγός) σε μορφή λεπτού υμενίου. Ο αισθητήρας έχει απόκριση στο υδρογόνο μερικών λεπτών και καλή επαναληψιμότητα. Καταγράφηκαν καμπύλες μεταβολής της αντίστασης του NiO στον χρόνο για συγκεντρώσεις του υδρογόνου στην περιοχή 0.1 ? 1%. κ.ό.
Λέξεις Κλειδιά
αισθητήρες αερίων, περιβάλλον και ασφάλεια, λεπτά υμένια ημιαγωγών, μηχανισμοί αίσθησης
|
|
