Προβολή Εργασίας
ΧΗΜΙΚΗ ΕΝΑΠΟΘΕΣΗ ΑΠΟ ΑΤΜΟ (CVD) ΧΑΛΚΟΥ ΜΕ ΤΗΝ ΒΟΗΘΕΙΑ ΠΥΡΑΚΤΩΜΕΝΟΥ ΝΗΜΑΤΟΣ ΜΕ ΣΥΣΤΗΜΑ ΑΜΕΣΗΣ ΕΚΧΥΣΗΣ ΤΟΥ ΥΓΡΟΥ ΠΡΟΔΡΟΜΟΥ
Γ. Παπαδημητρόπουλος, Δ. Δαβάζογλου
Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής, Ε.Κ.Ε.Φ.Ε. "Δημόκριτος" |
ΣΥΝΤΟΜΗ ΠΕΡΙΛΗΨΗ
Επιμετάλλωση ολοκληρωμένων κυκλωμάτων
Λέξεις Κλειδιά
επιλεκτική εναπόθεση, hot-wire, CVD, Χαλκός
|
|
