Προβολή Εργασίας
ΕΠΙΛΕΚΤΙΚΗ ΧΗΜΙΚΗ ΕΝΑΠΟΘΕΣΗ ΑΤΜΩΝ ΟΞΕΙΔΙΟΥ ΤΟΥ ΒΑΝΑΔΙΟΥ ΑΠΟ ΑΤΜΟΥΣ VANADIUM (V) TRI-I-PROPOXY OXIDE
Λ. Κρητικός, Λ. Ζαμπέλης, Γ. Παπαδημητρόπουλος, Δ. Δαβάζογλου
Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής, Ε.Κ.Ε.Φ.Ε. "Δημόκριτος" |
ΣΥΝΤΟΜΗ ΠΕΡΙΛΗΨΗ
Εφαρμογή νανοδομημένων υμενίων VOx για εφαρμογές σε χημικούς αισθητήρες
Λέξεις Κλειδιά
VOx, CVD, επιλεκτική εναπόθεση
|
|
